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彤程新材擬投資6.98億元建ArF高端光刻膠研發(fā)平臺 2023年建完

2021/8/16 21:14:19      挖貝網(wǎng)

挖貝網(wǎng) 8月16日消息，彤程新材（603650）宣布，擬通過(guò)公司全資子公司-上海彤程電子材料有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)，彤程電子）在上?；瘜W(xué)工業(yè)區內使用自籌資金6.9853億元，投資建設“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”，項目預計于 2023年末建設完成。

據介紹，項目主要研究 ArF 濕法光刻膠工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)開(kāi)發(fā)，通過(guò)建立標準化的生產(chǎn)及控制流 程，提升高端光刻膠的質(zhì)量控制水平，實(shí)現 193nm 濕法光刻膠量產(chǎn)生產(chǎn)；同時(shí)，逐步建立先進(jìn)的集成電路及配套材料開(kāi)發(fā)與應用評價(jià)平臺。

彤程新材稱(chēng)，根據公司發(fā)展戰略，進(jìn)一步深化公司在電子材料領(lǐng)域的業(yè)務(wù)布局，彌補國內光刻膠技術(shù)與全球先進(jìn)水平的差距，研究ArF光刻膠，特別是193nm濕法光刻膠的工業(yè)化生產(chǎn)技術(shù)，確定193nm光刻膠工程化放大技術(shù)、標準的生產(chǎn)流程及質(zhì)量管控體系，研發(fā)生產(chǎn)光刻膠高端產(chǎn)品。