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卓?？萍嫉顷懶氯澹簢鴥纫幠Ｗ畲蟮陌雽w前道量檢測修復設備供應商 已形成14nm制程修復工藝平臺

2024/8/5 15:54:32      挖貝網(wǎng) 周路遙

新三板又迎來(lái)一家行業(yè)龍頭企業(yè)——國內規模最大的前道量檢測修復設備供應商卓?？萍迹?74380）于今日正式登陸新三板并進(jìn)入創(chuàng )新層。目前，卓?？萍歼€處于上市輔導之中，輔導機構為海通證券。

卓?？萍际且患覍?zhuān)注于半導體前道量檢測設備領(lǐng)域的企業(yè)。前道量檢測設備是指，以光、電子束等介質(zhì)作為主要工具，針對光刻機、刻蝕機、薄膜沉積設備等工藝設備的加工成果，進(jìn)行關(guān)鍵指標的量測或潛在缺陷的檢測，其使用場(chǎng)景覆蓋芯片前道生產(chǎn)的幾乎全部工序。

目前卓?？萍嫉漠a(chǎn)品及服務(wù)得到了半導體行業(yè)知名客戶(hù)的廣泛認可，終端客戶(hù)覆蓋客戶(hù) A、客戶(hù) B、客戶(hù) C、華虹半導體、士蘭微、客戶(hù) D、華潤上華、客戶(hù) G 等國內主流芯片產(chǎn)線(xiàn)客戶(hù)，具備成熟的商業(yè)化能力和較強的市場(chǎng)影響力。

創(chuàng )新性方面，卓?？萍际菄壹墝?zhuān)精特新小巨人企業(yè)。截至公開(kāi)轉讓說(shuō)明書(shū)簽署日，公司已取得專(zhuān)利 70 項，其中發(fā)明專(zhuān)利 30 項，另有 15 項專(zhuān)利正在申請中，其中發(fā)明專(zhuān)利 15 項；此外，公司還取得了軟件著(zhù)作權 16 項。

業(yè)績(jì)方面，2022年至2023年前三季度，公司營(yíng)收分別為3.14億元，1.93億元，歸母凈利潤分別為1.19億元，6872.51萬(wàn)元。

國內規模最大的前道量檢測修復設備供應商 已形成14nm制程修復工藝平臺

卓?？萍脊驹谇暗懒繖z測設備領(lǐng)域深耕十余年，具體來(lái)說(shuō)，目前公司產(chǎn)品以前道量檢測修復設備為主，同時(shí)也致力于前道量檢測設備及核心組件的自主研發(fā)和芯片產(chǎn)線(xiàn)運維工作。

在修復設備領(lǐng)域， 卓?？萍际菄鴥?span id="0rl2kkmfk" class="mgc">最大的前道量檢測修復設備企業(yè)，已形成最高可達 12 英寸、 14nm 制程的修復工藝平臺，為芯片的安全穩定生產(chǎn)提供了有效保障。近年來(lái)，卓?？萍疾粩嚅_(kāi)展與原廠(chǎng)修復部門(mén)的競爭，市場(chǎng)占有率持續提升，已由 2018 年的 2.07%增長(cháng)至 2023 年的7.73%，

在自研設備領(lǐng)域， 卓?？萍家呀?jīng)完成了應力測量設備、 方塊電阻測量設備兩類(lèi)自研整機設備的研發(fā)，相關(guān)技術(shù)指標達到國際原廠(chǎng)的同類(lèi)產(chǎn)品水平，并已經(jīng)銷(xiāo)售給國內多個(gè)知名芯片產(chǎn)線(xiàn)客戶(hù)，實(shí)現自研產(chǎn)品的商業(yè)化。

同時(shí)，卓?？萍汲掷m進(jìn)行核心組件的研發(fā)和供應鏈的培育，已形成高重頻脈沖激光器、高壓電源裝置、精密傳輸系統等突破成果，不斷提高技術(shù)水平。

例如對缺陷檢測設備的核心組件-高重頻脈沖激光器而言，卓?？萍荚?60nm 制程節點(diǎn)已實(shí)現對應型號的規模量產(chǎn)及銷(xiāo)售；在40nm 制程節點(diǎn)已通過(guò)技術(shù)驗證，正在進(jìn)行研發(fā)樣機轉產(chǎn)測試； 在 28nm 制程節點(diǎn)已通過(guò)技術(shù)驗證， 正在進(jìn)行研發(fā)樣機制備。 公司正在開(kāi)展無(wú)圖形晶圓缺陷檢測設備、薄膜膜厚測量設備的自主研發(fā)攻關(guān)，預計 2024 年形成樣機并進(jìn)行技術(shù)驗證。