近期，科創(chuàng )板受理了芯密科技的上市申請。該公司的特別之處在于，它不僅在半導體關(guān)鍵領(lǐng)域實(shí)現國產(chǎn)替代，還積極扶持國產(chǎn)核心原材料供應商的發(fā)展。

招股書(shū)顯示，芯密科技核心產(chǎn)品是全氟醚橡膠密封圈等半導體設備關(guān)鍵零部件，能夠有效勝任半導體前道制程核心工藝設備不同型號和全系列點(diǎn)位的嚴苛真空密封要求，打破了美國杜邦、美國GT、英國PPE等外資企業(yè)在我國半導體級全氟醚橡膠密封圈領(lǐng)域的壟斷局面。

在自身獲得發(fā)展的同時(shí)，芯密科技致力于構建更加穩定的供應鏈，積極扶持國產(chǎn)核心原材料供應商發(fā)展，目前已形成多系列產(chǎn)品并實(shí)現穩定供貨。

半導體用全氟醚橡膠圈難在哪？

芯密科技的產(chǎn)品說(shuō)簡(jiǎn)單倒也簡(jiǎn)單，就是密封用的全氟醚橡膠圈。經(jīng)過(guò)多年努力，芯密科技已成功開(kāi)發(fā)并量產(chǎn)10余款全氟醚橡膠材料，在研10余款全氟醚橡膠新材料，累計開(kāi)發(fā)并量產(chǎn)2,000余款全氟醚橡膠密封圈，在刻蝕、薄膜沉積、熱處理、清洗等前道制程核心工藝設備的全系列真空密封點(diǎn)位上全面實(shí)現了國產(chǎn)替代。

但由于半導體前道工藝的加工環(huán)境往往十分惡劣，并且對純度要求極高。這就導致了芯密科技的產(chǎn)品看起來(lái)可能很普通，但實(shí)際制造難度極大。

就拿半導體工藝中的清洗環(huán)節來(lái)說(shuō)吧，這可不是用水清洗，而是HCl、HNO3、H3PO4、HF、CuSO4等20多種高濃度強腐蝕性混合液體。所以清洗用全氟醚橡膠密封圈的核心性能之一就是耐腐蝕性液體，需要在清洗設備中能夠長(cháng)期耐受高濃度強酸、強堿和有機溶劑等混合化學(xué)液體侵蝕而不產(chǎn)生質(zhì)量損耗和體積變化，以有效防止液體泄漏，保障清洗工藝的純凈度和化學(xué)液體密封的有效性。

更重要的是，半導體工藝越先進(jìn)，加工環(huán)境往往就越惡劣，對全氟醚橡膠密封圈的性能要求就越高。

比如等離子刻蝕，這有點(diǎn)類(lèi)似于用水刀進(jìn)行雕刻，雕刻的深度越深，需要的水流的速度就越大。等離子刻蝕就是把水流換成了高速運動(dòng)的等離子體，如果要實(shí)現深寬比超過(guò)100:1的刻蝕，需要用等離子體射頻電源系統驅動(dòng)離子以超過(guò)100,000m/s的速度運動(dòng)。隨著(zhù)深寬比的增加，等離子刻蝕環(huán)節用全氟醚橡膠密封圈的耐等離子性能要求也越來(lái)越高。

覆蓋十大晶圓制造廠(chǎng)中的九家 扶持國產(chǎn)全氟醚生膠供應商

對我國半導體產(chǎn)業(yè)來(lái)說(shuō)，芯密科技的崛起有著(zhù)兩重意義。首先對下游的半導體設備和晶圓制造廠(chǎng)來(lái)說(shuō)，它的意義在于國產(chǎn)替代；其次是對更上游的原材料供應商來(lái)說(shuō)，芯密科技在崛起過(guò)程中，同樣在扶持國產(chǎn)供應商的發(fā)展，為構建更加穩定的半導體供應鏈，盡了自己的一份力。

根據弗若斯特沙利文統計，半導體級全氟醚橡膠密封圈2024年的國產(chǎn)化率不足10%。隨著(zhù)芯密科技產(chǎn)品成功實(shí)現技術(shù)突破、達到國際先進(jìn)技術(shù)水平并可與美國杜邦、美國GT、英國PPE等外資企業(yè)直接競爭，公司自2021年起已先后成功通過(guò)國內主流知名半導體廠(chǎng)商的嚴苛產(chǎn)品驗證并實(shí)現批量穩定供應，包括中國大陸前十大晶圓制造廠(chǎng)商中的九家公司，中國大陸前五大半導體設備廠(chǎng)商中的四家公司。充分保障了我國半導體國產(chǎn)設備原裝零部件和晶圓廠(chǎng)耗材替換的日常穩定供應。

并且，芯密科技不只是在成熟工藝工藝領(lǐng)域實(shí)現國產(chǎn)替代，還在232層NAND存儲芯片、19nm及以下DRAM存儲芯片和5nm-14nm邏輯芯片等先進(jìn)制程實(shí)現突破和規?；N(xiāo)售。

不僅如此，芯密科技還注重國產(chǎn)全氟醚生膠供應商的開(kāi)發(fā)培育和技術(shù)合作，成功研制出基于國產(chǎn)全氟醚生膠的成熟配方體系和多系列產(chǎn)品并實(shí)現穩定供貨。在深耕半導體級全氟醚橡膠密封圈的同時(shí)，芯密科技還不斷拓展業(yè)務(wù)邊界，豐富產(chǎn)品品類(lèi)，成功開(kāi)發(fā)腔體閥板和管道閥板等全氟醚橡膠功能部件，為公司的持續發(fā)展注入新的動(dòng)力。

功夫不負有心人，根據弗若斯特沙利文統計，2023年、2024年芯密科技半導體級全氟醚橡膠密封圈銷(xiāo)售規模連續兩年在中國市場(chǎng)排名第三，在中國企業(yè)中排名第一，已在行業(yè)內具備較高知名度和市場(chǎng)影響力。