圍繞磁懸浮技術(shù)的又一項技術(shù)實(shí)踐正快步走進(jìn)現實(shí)。

近日，全國首個(gè)關(guān)于磁懸浮自軸承泵的國家標準研討會(huì )在蘇州順利召開(kāi)。該會(huì )議由全國磁懸浮動(dòng)力技術(shù)基礎與應用標準化工作組主辦，蘇州蘇磁智能科技有限公司（簡(jiǎn)稱(chēng)：蘇磁科技）承辦，來(lái)自高校、科研院所、生產(chǎn)企業(yè)及使用單位的30余位專(zhuān)家和代表參會(huì )，深入探討并制定國內磁懸浮泵送領(lǐng)域的首個(gè)國家標準，也開(kāi)啟了行業(yè)規范化、產(chǎn)業(yè)化發(fā)展的序幕。

其中，標準起草單位之一的蘇磁科技，正是國內極少數實(shí)現磁懸浮技術(shù)自主產(chǎn)業(yè)化并進(jìn)入國內外十幾家半導體芯片終端的企業(yè)之一。憑借多年在技術(shù)領(lǐng)域的持續深耕，公司已在磁懸浮技術(shù)領(lǐng)域形成了從材料選擇到磁路設計，再到算法控制與系統集成應用的全鏈條技術(shù)優(yōu)勢，在磁懸浮技術(shù)引領(lǐng)全球產(chǎn)業(yè)變革的前沿嶄露頭角。

國產(chǎn)磁懸浮技術(shù)強勢突圍

在科研領(lǐng)域中，已經(jīng)誕生100多年的磁懸浮技術(shù)并不神秘。這種利用磁場(chǎng)力，使運動(dòng)部件無(wú)需物理接觸即可始終穩定“懸浮”于預定位置的高精度控制技術(shù)，具有“高精度、低剪切、無(wú)機械接觸和密封、無(wú)需潤滑油、無(wú)磨損、高潔凈、低振動(dòng)”等諸多優(yōu)勢。

而在半導體行業(yè)中，潔凈和高精度正是整個(gè)產(chǎn)業(yè)鏈的生命線(xiàn)。任何微小的顆粒污染、振動(dòng)干擾或材料變化都可能導致晶圓良率下降甚至報廢?？梢哉f(shuō)，磁懸浮技術(shù)正好切中了該行業(yè)的痛點(diǎn)。完全無(wú)機械接觸、無(wú)需潤滑、低振動(dòng)的磁懸浮系統，足以在晶圓制造過(guò)程中從根本上杜絕顆粒物來(lái)源，徹底消除因機械摩擦導致的良率下降和機械振動(dòng)帶來(lái)的工藝偏差。

早在1985年，國內高校就已開(kāi)始磁懸浮技術(shù)研究，國內半導體產(chǎn)業(yè)界也一直試圖將該技術(shù)引入生產(chǎn)實(shí)踐。然而，長(cháng)期以來(lái)該領(lǐng)域被歐美企業(yè)強勢壟斷。數據顯示，我國半導體行業(yè)曾有超過(guò)70種關(guān)鍵設備與部件面臨海外禁運或技術(shù)封鎖，其中近30%涉及磁懸浮技術(shù)。

面對行業(yè)“卡脖子”困境，一批企業(yè)選擇從技術(shù)源頭攻堅，蘇磁科技正是其中之一。蘇磁科技的控制技術(shù)起源于中國科學(xué)院上海光源大科學(xué)裝置，從利用磁場(chǎng)控制電子束的運動(dòng)開(kāi)始，公司不斷在技術(shù)領(lǐng)域深耕探索，組建了跨學(xué)科研發(fā)團隊，將其在壓縮機、人工心臟等項目中積累的控制技術(shù)與傳感技術(shù)，遷移至半導體場(chǎng)景。

磁懸浮晶圓轉臺是半導體制造設備的卡脖子核心部件，其運轉精度和穩定性直接影響芯片良品率。2022年蘇磁科技臨危受命，三個(gè)月全力攻關(guān)，成功自主研發(fā)我國首款磁懸浮晶圓轉臺產(chǎn)品，打破國外長(cháng)達數十年的技術(shù)壟斷，成為國內唯一、全球唯二的可提供該產(chǎn)品的企業(yè)。目前，蘇磁科技在半導體領(lǐng)域的部分產(chǎn)品國內市占率已接近100%，牢牢地捍衛住了國內半導體相關(guān)核心零部件的供應鏈安全。

當前，蘇磁科技核心產(chǎn)品已涵蓋磁懸浮晶圓轉臺、磁懸浮液體泵、磁懸浮攪拌系統等諸多核心零部件。

圖：磁懸浮泵測試系統

其中，在磁懸浮泵領(lǐng)域，蘇磁科技也憑借產(chǎn)品無(wú)脈動(dòng)、低剪切、高潔凈等優(yōu)勢，正在逐步替代傳統的風(fēng)囊泵、隔膜泵，解決了半導體制造中敏感液體輸送環(huán)節的潔凈性、穩定性問(wèn)題。2023年量產(chǎn)后，產(chǎn)品迅速獲得國內外客戶(hù)認可，目前已進(jìn)入日本、韓國、中國臺灣等市場(chǎng)。此次磁懸浮自軸承泵標準研討會(huì )上，蘇磁科技更作為產(chǎn)業(yè)代表，通過(guò)深度參與標準制定，推動(dòng)行業(yè)規范化發(fā)展，為磁懸浮泵送技術(shù)加速產(chǎn)業(yè)化吹響了號角。

磁懸浮應用邊界持續拓寬

磁懸浮底層技術(shù)的平臺化讓蘇磁科技能快速響應不同產(chǎn)業(yè)的差異化應用需求。除半導體外，蘇磁科技的磁懸浮高端裝備也已延伸至生物制藥、精細化工、核能、能源、航天等領(lǐng)域。

在生物制藥環(huán)節，尤其是大分子藥物、細胞治療和疫苗生產(chǎn)過(guò)程中，液體輸送與混合環(huán)節對“潔凈度”和“低剪切”的要求極為苛刻。傳統機械泵存在摩擦顆粒物脫落、液體剪切力高導致蛋白質(zhì)結構破壞等問(wèn)題。

蘇磁科技推出的磁懸浮泵及攪拌系統，憑借完全無(wú)接觸運行，直接降低了藥液污染風(fēng)險，同時(shí)低剪切力可保護大分子藥物結構不被破壞。攪拌過(guò)程中能實(shí)現槳葉完全主動(dòng)懸浮，不接觸容器壁便無(wú)顆粒，精準控速實(shí)現平穩攪拌，避免藥液分層。目前，公司磁懸浮泵和磁懸浮攪拌系統產(chǎn)品均已實(shí)現量產(chǎn)。

在能源、真空等領(lǐng)域，磁懸浮高溫熔鹽泵、磁懸浮渦輪分子泵等產(chǎn)品也正在推進(jìn)研發(fā)與驗證，以穩步應對相關(guān)領(lǐng)域中國產(chǎn)業(yè)所面臨的“卡脖子”問(wèn)題。在核電領(lǐng)域，全球首臺磁懸浮高溫熔鹽泵已研發(fā)成功，耐受數百攝氏度高溫的嚴苛環(huán)境，填補了核能源領(lǐng)域磁懸浮泵送技術(shù)的空白。

磁懸浮技術(shù)憑借節能、潔凈、高可靠、長(cháng)壽命、降噪等方面的優(yōu)勢，是電機軸承技術(shù)發(fā)展的必然方向，可廣泛應用于半導體、醫藥、化工、能源等各種工業(yè)領(lǐng)域，例如人工心臟、衛星調姿飛輪、工業(yè)壓縮機、鼓風(fēng)機、空調、液體泵、真空泵、儲能飛輪、發(fā)電機、汽輪機、紡紗電機等等。磁懸浮電機未來(lái)將會(huì )成為工業(yè)基礎部件。

在市場(chǎng)空間逐步釋放的背景下，蘇磁科技已形成以自主研發(fā)的磁懸浮技術(shù)為核心、覆蓋多領(lǐng)域關(guān)鍵零部件的平臺化產(chǎn)業(yè)布局。公司不僅在多個(gè)產(chǎn)品線(xiàn)實(shí)現國產(chǎn)化替代，突破了半導體等領(lǐng)域的“卡脖子”困局，更憑借底層技術(shù)突破，將磁懸浮打造成高端制造領(lǐng)域“潔凈、精密、可靠”的基礎性技術(shù)支撐，促進(jìn)中國高端工業(yè)基礎部件的創(chuàng )新升級發(fā)展，成為護航我國高端制造產(chǎn)業(yè)鏈安全、驅動(dòng)中國智造升維發(fā)展的“隱形冠軍”。

如今，蘇磁科技不再滿(mǎn)足于對標和替代國外產(chǎn)品，更開(kāi)啟了中國磁懸浮技術(shù)企業(yè)的全球征程。某全球頭部的半導體設備商已完成對蘇磁科技的審廠(chǎng)認證，計劃將其產(chǎn)品納入全球采購名錄，標志著(zhù)中國磁懸浮技術(shù)從“替代備選”進(jìn)階為“供應鏈標配”。目前，蘇磁科技已設立日本子公司及多個(gè)海外辦事處，逐步實(shí)現從產(chǎn)品出口到技術(shù)出海的國際化布局，代表中國科技力量實(shí)現了磁懸浮技術(shù)差異化創(chuàng )新解決方案的反向輸出。

當前，全球競爭進(jìn)入“硬科技深水區”，高端裝備的核心技術(shù)自主化直接關(guān)系產(chǎn)業(yè)安全與國際競爭力。身處技術(shù)變革的前沿，蘇磁科技在磁懸浮技術(shù)領(lǐng)域的原研突破，已成為國內諸多產(chǎn)業(yè)高質(zhì)發(fā)展的根基與反向出海的底氣來(lái)源。隨著(zhù)越來(lái)越多的“蘇磁科技”出現，全球磁懸浮技術(shù)相關(guān)產(chǎn)業(yè)鏈的價(jià)值與格局也將被重新定義，為推動(dòng)世界工業(yè)進(jìn)步貢獻獨特的“中國方案”與智慧。這或許也正是新發(fā)展格局下，中國科技自立自強的最佳注腳。