政府、企業(yè)、學(xué)校、工程中心——4個(gè)主體權責分明，聯(lián)系緊密，圍繞市場(chǎng)需求，形成了一套行之有效的創(chuàng )新機制

　　文/本刊記者 劉斯斯

　　冬日的西安理工大學(xué)靜悄悄的。從校門(mén)進(jìn)入，轉過(guò)幾個(gè)彎，就看到了晶體生長(cháng)設備及系統集成國家地方聯(lián)合工程研究中心(以下簡(jiǎn)稱(chēng)工程中心)所在的3層小樓。

　　走進(jìn)工程中心的研發(fā)實(shí)驗室，300mm無(wú)位錯硅單晶棒簡(jiǎn)單地以支架支撐，豎直立在地面上。這個(gè)鐵灰色、表面光亮、形如巨型鉛筆的硅單晶棒，正等待著(zhù)運輸到北京，接受項目合作方的檢驗。

　　雖然看起來(lái)并無(wú)特別，但這些硅單晶棒是工程中心的研發(fā)人員，經(jīng)過(guò)近20個(gè)月幾乎全年無(wú)休的刻苦鉆研和攻堅，完全自主設計，經(jīng)過(guò)了單元測試、整機制造、系統調試和拉晶實(shí)驗，于2010年9月5日從同樣自主研制的300mm硅單晶爐中拉制成功。

　　作為國家科技重大專(zhuān)項02專(zhuān)項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”的重要組成部分，300mm無(wú)位錯硅單晶棒的成功標志著(zhù)項目課題“300mm硅單晶直拉生長(cháng)裝備的開(kāi)發(fā)”第一階段的工作已近尾聲，取得了包括樣機制造、大型勾型磁場(chǎng)開(kāi)發(fā)、IGBT綠色高效率電源研制等一系列突破性成果，并為下一步的產(chǎn)業(yè)化工作做好了準備。

　　西安理工大學(xué)校長(cháng)、工程中心主任劉丁對本刊記者表示：“通過(guò)承接國家科技重大專(zhuān)項，工程中心掌握了一批電子級單晶爐研制的關(guān)鍵共性技術(shù)。特別是大型勾型磁場(chǎng)和激光液面測距技術(shù)已申請國際專(zhuān)利，打破了國外大公司對高端電子級單晶爐的技術(shù)壟斷?！?/p>

　　劉丁強調，這一成功與工程中心的運行管理機制密不可分：由政府提供政策及配套文件的支持；企業(yè)提出技術(shù)難題，并為工程中心提供必要的運行和研發(fā)費用。西安理工大學(xué)組織研發(fā)人員；工程中心提出研發(fā)場(chǎng)地、試驗基地和實(shí)驗條件，并組織研發(fā)人員開(kāi)展工作。這樣，政府、企業(yè)、學(xué)校、工程中心——4個(gè)主體權責分明，聯(lián)系緊密，圍繞市場(chǎng)需求，形成了一套行之有效的創(chuàng )新運行管理機制：技術(shù)通過(guò)與企業(yè)合作進(jìn)入市場(chǎng)，收到的經(jīng)濟回報則繼續支持進(jìn)一步的研發(fā)工作。

　　依循這一良性循環(huán)，支撐工程中心從無(wú)到有，一步一個(gè)腳印實(shí)現了國內大尺寸晶體生長(cháng)設備的突破。最終，工程中心逐步成為國內領(lǐng)先的晶體生長(cháng)設備研發(fā)基地，成為國家級示范工程研究中心。

　　技術(shù)積淀與人才優(yōu)勢

　　2009年11月，工程中心正式得到國家發(fā)改委的批準成立。截至目前，已經(jīng)建設改造了1200平方米的場(chǎng)地，其主體包括研發(fā)實(shí)驗室、整機實(shí)驗測試基地和單元技術(shù)研發(fā)中心3部分。

　　工程中心研究人員弋英民博士向記者介紹說(shuō)，整機測試基地和單元技術(shù)研發(fā)中心位于西安市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區西安理工大學(xué)科技園區內，分別對應單元技術(shù)的研發(fā)和小件實(shí)驗以及整機裝備，基本功能的測試等。面前的這座小樓是工程中心的研發(fā)實(shí)驗室，包括一個(gè)實(shí)驗設備空間和3層的研發(fā)用空間，主要完成控制和工藝的實(shí)驗。

　　走進(jìn)占據樓內一側的實(shí)驗設備空間，這個(gè)在實(shí)驗時(shí)必須為超凈環(huán)境、上下通透的廠(chǎng)房式大屋，此時(shí)靜靜地敞開(kāi)著(zhù)。高大的300mm硅單晶爐立于廠(chǎng)房中央，包括單晶爐本體、大型勾形磁場(chǎng)及控制設備等在內的一整套設備，占據了大半個(gè)空間。設備一側鋪設有很多粗大的管線(xiàn)，一直連到屋外，為實(shí)驗提供水電氣等能源。另一側，幾個(gè)完成的300mm無(wú)位錯硅單晶棒正在裝車(chē)。

　　工程中心負責人介紹說(shuō)，這里原本是西安理工大學(xué)校辦工廠(chǎng)的裝配車(chē)間。1961年，當時(shí)的學(xué)校和工廠(chǎng)合作，研制成功國內第一臺單晶爐。在此后50多年的發(fā)展中，一直在國內相關(guān)科研領(lǐng)域保持領(lǐng)先。

　　這次承接國家科技重大專(zhuān)項，自主研制成功國內第一臺電子級單晶爐用大型勾型磁場(chǎng)，當記者問(wèn)到面臨的最大技術(shù)難關(guān)是什么，工程中心負責人表示，國內缺乏相關(guān)技術(shù)材料，國外實(shí)行技術(shù)封鎖，研究人員只能通過(guò)單元實(shí)驗，一步一步做出成果。

　　“我們從第一步畫(huà)圖紙開(kāi)始，再做仿真，然后再做單元實(shí)驗。通過(guò)做出一個(gè)一個(gè)模塊，再到本體，一直到最后的成品，是不斷反復實(shí)驗的結果。期間，全部研發(fā)人員都付出了很多心血，用劉校長(cháng)的話(huà)說(shuō)，就是5加2，白加黑，春節都沒(méi)有怎么休息”。弋英民笑著(zhù)說(shuō)。

　　當記者進(jìn)一步問(wèn)及，工程中心成功的關(guān)鍵因素是什么。弋英民很快答道，一是工程中心擁有豐厚的技術(shù)積淀，研發(fā)實(shí)力一直保持國內領(lǐng)先；二是依托西安理工大學(xué)，中心集中了一批包括自動(dòng)控制、電子信息、檢測及傳感、機械、材料等多學(xué)科交叉的科研人才。

　　此外，工程中心負責人強調，工程中心在做研發(fā)時(shí)，一直非常重視結合企業(yè)及市場(chǎng)的需求，并積極促成研發(fā)成果的市場(chǎng)轉化。

　　目前，工程中心設有技術(shù)委員會(huì )，成員包括學(xué)校、工程中心自身、企業(yè)相關(guān)人員以及客座專(zhuān)家等，每年都會(huì )就中心下一步的發(fā)展進(jìn)行討論規劃?！氨热缒壳癓ED的發(fā)展勢頭很好，我們也正在計劃之中”，工程中心負責人補充說(shuō)。

　　市場(chǎng)與研發(fā)緊密互動(dòng)

　　注重市場(chǎng)需求，加強校企合作——工程中心的發(fā)展思路一直非常清晰。畢竟，不管工程中心的研發(fā)實(shí)力如何強勁，若無(wú)相應的資金支持，很難維持其正常運轉。

　　劉丁說(shuō)到這個(gè)話(huà)題時(shí)深有感觸：“目前，很多研發(fā)中心都缺乏可持續發(fā)展的維持機制，與企業(yè)之間的合作往往是一錘子買(mǎi)賣(mài)。我認為，工程中心唯有與企業(yè)建立了長(cháng)期穩定的利潤分擔機制，才能真正出成果，在高端設備研發(fā)方面有所作為”。

　　目前，工程中心與西安理工晶體科技有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)理工晶科)就維持著(zhù)這樣的合作機制。

　　理工晶科前身為西安理工大學(xué)校辦工廠(chǎng)，2008年實(shí)行股份制改造后，仍由校方控股。也許是因為有著(zhù)這樣緊密的聯(lián)系，使得雙方的合作順風(fēng)順水。

　　理工晶科總經(jīng)理王俊輝向本刊記者介紹稱(chēng)，在國內30多家做晶體生長(cháng)設備的企業(yè)中，理工晶科無(wú)疑是發(fā)展歷史最長(cháng)的。就規模來(lái)說(shuō)，排名也在前5之內。

　　他表示，這幾年公司的產(chǎn)值一直比較穩定，每年大約在2億元左右。隨著(zhù)行業(yè)發(fā)展形勢越來(lái)越好，企業(yè)下一步準備擴大規模，并進(jìn)行資產(chǎn)重組，籌備上市。

　　當記者問(wèn)到如何看待與工程中心的合作，王俊輝表示：“工程中心的研發(fā)實(shí)力在國內是首屈一指的。我們企業(yè)一方面做好傳統產(chǎn)品，另一方面，可依托中心走尖端技術(shù)和設備的發(fā)展道路”。

　　具體來(lái)說(shuō)，這種運行機制首先是由企業(yè)提出技術(shù)難題和改進(jìn)方案，并以技術(shù)委托合同的形式，委托工程中心進(jìn)行研究。最終，工程中心將提出完整而確實(shí)可行的解決方案，企業(yè)則提供相應的研發(fā)費用。

　　這一機制促使工程中心的研發(fā)，與企業(yè)生產(chǎn)中遇到的實(shí)際問(wèn)題緊密結合。針對晶體生長(cháng)設備和工藝中的重大關(guān)鍵性和共性技術(shù)問(wèn)題，持續不斷為企業(yè)提供相應的解決方案，并為其規?；a(chǎn)提供成熟配套的技術(shù)工藝和裝備。

　　依托這種合作形式，雙方均取得了豐碩的成果。舉例來(lái)說(shuō)，2007年12月，TDR100型硅單晶爐通過(guò)美國應用材料公司的驗收并整體達到歐洲CE認證，銷(xiāo)往芬蘭OKMETIC電子公司，打開(kāi)了國產(chǎn)單晶爐進(jìn)入歐洲市場(chǎng)大門(mén)。2008年5月，多芯硅芯爐通過(guò)陜西省級技術(shù)鑒定并已定型生產(chǎn)，目前已占據國內多晶硅行業(yè)80%的市場(chǎng)份額。

　　就工程中心而言，劉丁舉例說(shuō)，企業(yè)每賣(mài)出一套設備，中心可獲得合同額的2%-3%繼續用于研發(fā)。雖然并不算高，但在企業(yè)目前技術(shù)投入普遍不足的大形勢下，已算是不錯的成績(jì)，可幫助工程中心維持日常運轉。

　　國家與地方聯(lián)建

　　走向全國的契機

　　剛剛過(guò)去的2010年，工程中心總共承擔了15個(gè)課題，全部科研收入為863萬(wàn)元。其中來(lái)自國家及省市項目科研收入693.8萬(wàn)元，來(lái)自技術(shù)和產(chǎn)品的收入為170萬(wàn)元?？傊С龊嫌嫗?09.49萬(wàn)元，全部為科技研發(fā)支出。

　　劉丁感嘆，工程中心搞一次實(shí)驗，光是水電氣的費用，動(dòng)輒幾萬(wàn)。雖然目前整個(gè)中心在現有機制下運轉正常，但若想在技術(shù)攻關(guān)幾走得更長(cháng)更遠，資金始終是一個(gè)繞不過(guò)去的坎兒。

　　由于工程中心的主要收入來(lái)源為國家科研投入和企業(yè)的技術(shù)服務(wù)收入，在晶體生長(cháng)裝備的高端技術(shù)主要為國外大公司所掌握的形勢下，中心的進(jìn)一步成長(cháng)，還需要更多國家層面的支持。

　　目前，陜西省發(fā)改委每年從高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展專(zhuān)項資金中安排1200萬(wàn)元支持創(chuàng )新能力建設，工程中心大約得到其中的200萬(wàn)元資金。而國家地方聯(lián)合工程研究中心的批復，則為其發(fā)展帶來(lái)了新契機。

　　陜西省發(fā)改委高技術(shù)產(chǎn)業(yè)處處長(cháng)劉迎軍在向記者介紹相關(guān)情況時(shí)表示，通過(guò)這一政策，工程中心從陜西出發(fā)，開(kāi)始走向全國?！拔覀兿Ｍ尨蠹伊私獾疥兾鲹碛羞@樣實(shí)力強勁的研發(fā)中心，一方面有利于吸引包括企業(yè)及投資者在內的外部資源，另一方面，可以將工程中心推向市場(chǎng)，更好地體現技術(shù)、資本與市場(chǎng)的融合”，劉迎軍這樣說(shuō)道。

　　他還表示，過(guò)去國家級的工程中心主要集中在北京、上海這樣原本科研實(shí)力就強的地區。通過(guò)國家地方聯(lián)建這種方式，提拔西部省份高新技術(shù)工程中心的發(fā)展，可以縮小地區之間在創(chuàng )新能力建設方面的差距。并最終通過(guò)研發(fā)實(shí)力的提升，促進(jìn)全省高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。